真空泵油每半年或一年更換一次，真空泵油必須全部更換，其操作方法如下。

第一步，關(guān)閉前置閥門。停止真空泵220VAC供電電源。可以將真空泵供電220VAC插頭從真空泵控制盒插座上拔下。

第二步，擰松軟管夾子（連接閥與收集器之間）取下收集器，放到一個較大的工作場地。

第三步，取下排油塞子把油排往一個合適的容器內(nèi)。此時要啟動真空泵，并倒入半瓶新的油入泵內(nèi)，來沖洗殘渣。

第四步，停泵并關(guān)閉排放塞，用新油罐入泵內(nèi)到孔（觀察孔的）一半為止。

第五步，處理分子篩。分子篩用來吸收油的蒸汽微粒，以防止進(jìn)入光學(xué)室。收集器內(nèi)分子篩飽和后應(yīng)該更換，顏色變成褐色，通常可以用分子篩加熱對其進(jìn)行再生。取下收集器的帽子，更換新的分子篩，此時應(yīng)注意防止其他粉狀雜物進(jìn)入收集器中。周期性地?fù)u動收集器，確保這些粉狀物已填好，直到全部充滿其內(nèi)部。然后清洗“0”形環(huán)，涂上真空脂蓋緊帽子。                                                                      

第六步，清理所有相連接的表面，并涂上一層真空脂，重新連接泵和收集器到前

置閥。

第七步，關(guān)閉真空泵側(cè)面排泄側(cè)。開始抽真空至少20min以上，再打開前置閥。如果更換了真空泵油和分子篩后，發(fā)現(xiàn)真空保持不佳，并且啟動頻繁，則說明你更換的分子篩由于保存不當(dāng)已吸入水汽，則需要對外子解再加熱處理。